真空设备检漏

听音法

气体从小孔中喷出时，会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。

该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大，则小的声音就不易听清。使用听诊qi，某种程度上可以消除周围噪音的影响，听清泄漏声音，但有时与泄漏无关的声音（例如电机的声音）也会混杂进来，从而影响检漏灵敏度。该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。为了辨别较小的声音，可用话筒和放大器将声音放大。但此时其它声音也同时放大，多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3MPa，周围非常安静的条件下，可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。

这种方法既简单、经济。使用听诊qi，在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听，往往因声波的反射或吸收，很难确定泄漏点，即发声地点。由于检测环境条件不同，所得到的结果可能偏差很大。因此，这种方法的稳定性和可靠性很差。应与其它检测法并用。

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一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的，也是没有必要的，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量，称da允许漏率，简称允许漏率。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。

如果已知允许的总气载，而没有具体指明究竟有多大，那么，在设计合理的前提下。da允许漏率Q漏=0.1Q总，不同真空系统所允许的总漏率也不同。

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一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。世界领1先水进的声学技术真空打检机/真空检漏机当容器经过探头时，探头在容器顶部施加一个“非接触式”的敲击动作，使容器顶部发出声音，不同真空度的容器会发出不同的声音，先进的声学技术根据声音来判断容器是否发生泄漏。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。

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