氢气检漏法的优势

制冷、空调行业检漏技术的现状：在产品部件生产过程中，目前常使用氦检漏技术来查找微小的泄漏，而保压测试和水浴法常被用来检测较大的泄漏。产品装配完成并充入制冷剂之后，可能在出厂前还会使用卤素检漏仪对整个产品再进行一次检漏。工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择)，在现场需要查找系统漏点时，先排空制冷剂，然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体，用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。由于保压测试和水浴法只能检出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此长期以来，氦检漏技术是制冷、空调行业中的检小漏的手段，吸枪式氦检漏技术一般可以检出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是，以氦气作为示漏气体，也有一些不足之处，例如橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦气，在吸收后慢慢地释放出来;所有的氦气检漏仪器机构的离子收集板，对氦气都会产生记忆效应，即氦离子打到离子收集板上，并储存一定时间，然后再慢慢释放出来，从而造成本底的噪音等问题。

无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比，使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。由于保压测试和水浴法只能检出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此长期以来，氦检漏技术是制冷、空调行业中的检小漏的手段，吸枪式氦检漏技术一般可以检出10-7mbar·l/s左右的泄漏。其价格非常低廉，很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相当于0.1g/y，其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20，同时氦气检漏法要增加一些辅助设备，如氦气回收系统等。

真空检漏

超声波法

该方法实际上是听音法的一种。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。一旦出现信号响应，说明有氢气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用，在抽真空时，由于吸入的空气发出超声波，因而，采用真空法时也可以使用。

超声波转换器由于只检测超声波部分，在普通工厂的噪音条件下，不受明显干扰，因此检漏效果很好。

该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时，超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。

检漏时将检漏器的灵敏度调到da，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到da。然后，再寻找发出超声波的位置，以便确定泄漏点。对工件充注干燥空气/氮气0-5Mpa，进行大漏及耐压检测，通过该装置判断出被检工件的大漏及耐压试验。但在探头不易接近的地方出现泄漏时，就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便，人为因素较小，不同检测人员所得到的检测结果基本相同。

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真空设备检漏

北京科仪创新真空技术有限公司（简称：科仪创新）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。科仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。

如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。1g/y，其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20，同时氦气检漏法要增加一些辅助设备，如氦气回收系统等。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：

在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，